廣西E系列拋光粉廠
發布時間:2023-11-04 02:30:51廣西E系列拋光粉廠
拋光液中腐蝕介質主要有酸和堿。酸性拋光液常采用有機酸,可起到腐蝕作用,增加拋光過程的去除率,但其腐蝕性大,選擇性差,對拋光設備要求高,常用于銅、鎢、欽等金屬材料的拋光。目前的酸性拋光液中主要采用兩類不同的有機酸:一類是帶有多功能團的氨基酸,另一類是從簡單竣酸、輕基竣酸和它們二者的混合酸中挑選出來的。研究發現,相對于單獨使用任一類有機酸的拋光液,使用兩類有機酸混合的拋光液的去除率較大。此外,有研究表明,隨著拋光液pH值的增大,化學拋光占次要地位,機械拋光占主導作用,導致被拋光工件表面的質量下降,需加入有機酸進行調節。堿性拋光液一般選用氧氧化鈉、氧氧化鉀、有機胺等堿性物質來調節拋光液的酸堿性。堿性拋光液的腐蝕性低,選擇性高,常用于硅、氧化物、光阻材料等非金屬材料的拋光。但是,堿性拋光液不容易找到氧化勢能高的氧化劑,影響拋光效果。
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鈰基拋光粉的含量、微外觀、晶體結構和粒度分布對拋光粉的性能有決定性的影響。根據鈰拋光粉的含量、粒度和粒度分布進行分類。主要成分為氧化鈰拋光粉,鈰基拋光粉的主要成分為氧化鈰拋光粉,其中氧化鈰拋光粉在拋光過程中也起著主要作用。拋光粉的用量分為三類:高鈰稀土拋光粉、中鈰稀土拋光粉、低鈰稀土拋光粉。鈰基拋光粉CeO2含量高;拋光性能好,使用期限長。主要用于精密光學鏡片、石英等硬質玻璃的高速長周期拋光。
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稀土拋光液是一種常用的拋光材料,主要用于各種金屬、玻璃、瓷器等材料的拋光和光滑處理。在使用稀土拋光液時,應注意以下幾個方面:1、保護工作環境:使用稀土拋光液時,保證工作環境通風良好,防止吸入氣體或水溶液的有害物質對身體造成傷害。同時,避免濺到眼睛或皮膚上造成刺激或燒傷。2、液體用量控制:稀土拋光液的使用應根據實際工件材料和要求進行控制。不宜使用過多的液體,以防止浪費和環境污染,但也會增加拋光時間和成本。3、質量控制:稀土拋光液的質量會直接影響拋光效果,因此應選擇質量穩定、產品檢驗合格的產品。使用前應檢查拋光液的外觀、味道和溶解度,確保無異常現象。
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低鈰系稀土拋光材料主要用于氯化稀土、氟碳礦和少氯化稀土(W(REO)≥45%、W(CEO2)≥48%),以及近年來以合成中間體(沉積劑)的復鹽沉積和其他處理選擇少釹碳酸稀土作為優良材料的稀土,可以制備低鈰系稀土拋光材料產品。低鈰系稀土拋光材料主要工藝進程是:低鈰系稀土拋光材料產品→溶解→復鹽沉積→過濾洗滌→高溫煅燒→粉碎篩分。設備主要包括:溶槽、沉積槽、過濾器、煅燒爐、粉碎機、細研磨篩分機。其他高品位混合氟碳鈰礦稀土精礦(W(REO)約60%,W(CEO2)約48%,直接以化學和物理方法加工,如研磨、煅燒、篩分等。稀土拋光粉產品可以直接生產。
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目前,在藍寶石的CMP工藝中,常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。實驗數據表明,氧化鋁拋光粉在藍寶石拋光過程中的優勢逐漸明顯。金剛石只用于傳統的機械拋光,其硬度(莫氏10)比藍寶石(莫氏9)硬度高,容易產生劃傷,藍寶石表面損傷度高,良率低。氧化鋁的硬度與藍寶石相當,顆粒球型,拋光速率高,良率高,是比較理想的拋光材料。而SiO2硬度(莫氏硬度7.5)比藍寶石低,拋光速率比氧化鋁拋光粉慢很多,拋光比較耗時。在拋光平面藍寶石襯底時,氧化鋁拋光粉制成的研磨液的拋光性能(去除速率和表面質量等)優于其他磨料。