上海氧化鋁拋光材料材料
發布時間:2024-09-09 02:00:00上海氧化鋁拋光材料材料
氧化鋯拋光粉對陶瓷材料的拋光效果也非常明顯。陶瓷材料表面通常存在磨損、磨損、污漬等問題,嚴重影響陶瓷材料的清潔度和外觀。使用氧化鋯拋光粉進行拋光處理,可有效去除陶瓷表面的污漬和磨損痕跡,提高陶瓷表面的清潔度和亮度。同時,還能填補陶瓷表面的小凹陷,提高陶瓷的平整度和光滑度。因此,氧化鋯拋光粉也可以在陶瓷材料的拋光加工中取得很好的拋光效果。
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拋光液中腐蝕介質主要有酸和堿。酸性拋光液常采用有機酸,可起到腐蝕作用,增加拋光過程的去除率,但其腐蝕性大,選擇性差,對拋光設備要求高,常用于銅、鎢、欽等金屬材料的拋光。目前的酸性拋光液中主要采用兩類不同的有機酸:一類是帶有多功能團的氨基酸,另一類是從簡單竣酸、輕基竣酸和它們二者的混合酸中挑選出來的。研究發現,相對于單獨使用任一類有機酸的拋光液,使用兩類有機酸混合的拋光液的去除率較大。此外,有研究表明,隨著拋光液pH值的增大,化學拋光占次要地位,機械拋光占主導作用,導致被拋光工件表面的質量下降,需加入有機酸進行調節。堿性拋光液一般選用氧氧化鈉、氧氧化鉀、有機胺等堿性物質來調節拋光液的酸堿性。堿性拋光液的腐蝕性低,選擇性高,常用于硅、氧化物、光阻材料等非金屬材料的拋光。但是,堿性拋光液不容易找到氧化勢能高的氧化劑,影響拋光效果。
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1、離子束拋光:離子束拋光是利用離子束瞬間加速碰撞表面的幾何形狀和材料特性,去除表面突出部分的光學拋光過程。離子束拋光具有拋光精度高、表面光滑度好、拋光速度快等優點,但也存在拋光時間短、適用范圍窄、成本高等缺陷。離子束拋光所用的設備設施成本高,操作難度大,需要技術人員操作。2、電解拋光:電解拋光是利用電解質的化學腐蝕去除表面雜質和不均勻部分的光學拋光過程。電解拋光具有拋光精度高、表面質量好、成本低等優點,但也存在操作要求更復雜、適用范圍窄、拋光速度慢等缺陷。此外,電解拋光的腐蝕劑也會對環境和人們的健康產生一定的影響,需要注意。
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目前,在藍寶石的CMP工藝中,常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。實驗數據表明,氧化鋁拋光粉在藍寶石拋光過程中的優勢逐漸明顯。金剛石只用于傳統的機械拋光,其硬度(莫氏10)比藍寶石(莫氏9)硬度高,容易產生劃傷,藍寶石表面損傷度高,良率低。氧化鋁的硬度與藍寶石相當,顆粒球型,拋光速率高,良率高,是比較理想的拋光材料。而SiO2硬度(莫氏硬度7.5)比藍寶石低,拋光速率比氧化鋁拋光粉慢很多,拋光比較耗時。在拋光平面藍寶石襯底時,氧化鋁拋光粉制成的研磨液的拋光性能(去除速率和表面質量等)優于其他磨料。
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拋光液在加工過程中所表現的四個特點:1、防銹的特點,能夠保證不產生銹蝕,適當的加入防銹劑,需要要求防銹處理,主要是針對水性研磨拋光液而言,對于油性研磨拋光液,一般是不會產生銹蝕的問題。2、潤滑作用。主要是指研磨拋光液滲入工件以及磨粒切屑之間所形成的潤滑膜,這層膜能夠減輕摩擦,使砂輪耐用度增加,有效的防止工件表面粗糙度出現惡化。3、清理作用。在一定時間內起到潤滑作用,洗掉堆積在氣孔中的磨屑,防止堵塞,粘度越低的話,其滲透性也會越容易,其清洗切屑的能力也就越強。4、冷卻性,研磨拋光液在研磨加工中能夠迅速的吸收被加工的時候所產生的熱,使其溫度下降,維持工件表面的精度,防止工件表面完整度出現惡化,保證磨粒自銳作用。如果研磨拋光液流量越大的話,其冷卻能力會比較高,工件表面溫度比較低。