廣西精磨粉系列
發布時間：2024-10-11 01:54:22
廣西精磨粉系列
鈰基拋光粉的基本要求是什么？1、鈰基拋光粉微粉粒度均勻，在允許范圍內；顆粒的大小和均勻性決定了拋光速度和精度。粉末的相對粒徑可以通過篩網的目數來掌握，平均粒徑決定了拋光粉末的整體粒徑水平。2、鈰基拋光粉純度高，無機械雜質。3、鈰基拋光粉具有良好的分散性和吸附性，保障了加工過程的均勻性和效率?？梢蕴砑舆m量的LBD-1.分散劑，提高懸浮率；良好的拋光粉應具有良好的懸浮性能，粉末的形狀對懸浮性能有影響，而納米拋光粉的懸浮性能相對較好，因此一般選擇納米拋光粉進行拋光。4、粉末顆粒具有晶格形狀，破碎時形成尖銳的尖角，提高拋光效率；粉末晶體是單晶粒的組合，決定了粉末的加工、耐磨性和流動性。粉末聚集的單晶粒在拋光過程中分離（破碎），逐漸降低切割加工和耐磨性。球形拋光粉具有良好的加工性、耐磨性和流動性。
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影響氧化鈰拋光粉生產加工的因素：1、原料：氧化鈰拋光粉有三種原料：高氧化物拋光粉由硝酸鹽或氯化石制成，硝酸鹽生產的拋光粉顆粒性能好；富氧化物拋光粉由氯化物制成，拋光粉較晚；低氧化物拋光粉由碳酸鹽稀土或氟碳石制成，顏色為棕紅色。2、沉淀劑：用于制造氧化鋯拋光粉的沉淀劑包括草酸和碳酸氫銨。草酸拋光粉具有單晶結構，流動性好，易于沉淀，可根據水力性能進行分類。碳酸鹽拋光粉是一種懸浮性好但耐磨性和流動性差的片狀聚集體結構，通常用于平面拋光。3、分類方法：使用前對氧化鋯拋光粉進行分類，一般包括水力沉降、濕篩、干篩、水力懸浮分類、氣流分類等。草酸鹽產生的拋光粉通常通過濕篩或液壓懸浮液進行分類；碳酸鹽產生的拋光粉通常根據氣流進行分類。
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目前，在藍寶石的CMP工藝中，常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。實驗數據表明，氧化鋁拋光粉在藍寶石拋光過程中的優勢逐漸明顯。金剛石只用于傳統的機械拋光，其硬度（莫氏10）比藍寶石（莫氏9）硬度高，容易產生劃傷，藍寶石表面損傷度高，良率低。氧化鋁的硬度與藍寶石相當，顆粒球型，拋光速率高，良率高，是比較理想的拋光材料。而SiO2硬度（莫氏硬度7.5）比藍寶石低，拋光速率比氧化鋁拋光粉慢很多，拋光比較耗時。在拋光平面藍寶石襯底時，氧化鋁拋光粉制成的研磨液的拋光性能（去除速率和表面質量等）優于其他磨料。
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制備鈰基拋光粉的主要方法：1、稀土碳酸鹽混合物(CeO制備鈰拋光粉工藝：將稀土碳酸鹽混合物煅燒成稀土氧化物，CeO(oH)2.用酸處理沉淀和三價稀土溶液。CeO(OH)2沉淀.干燥.煅燒可得到CeO含量為98-99%的高鈰拋光粉，可獲得酸處理CeO2含量為5-5um.平均粒徑為1.高鈰拋光粉-2um，與其它鈰基拋光粉相比，具有良好的拋光能力。2、氯化稀土溶于水形成氯化稀土溶液，氫氧化鈰用堿和氧化劑處理，鈰精礦用酸處理，沉淀劑用沉淀，即干燥.煅燒.粉碎.分級.混合得到CeO2.氯化鈰80%-90%。3、稀土輕氯化物.氟硅酸.碳酸氫銨是一種由稀土氟碳酸沉淀的沉淀劑.水洗.過濾.煅燒.篩分球磨等工藝。得到的產品顆粒細小均勻，化學活性強，拋光效率高。